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2023-12-25
薄膜沉积--芯片制造的核心工艺之一
薄膜沉积工艺主要分为物理和化学方法两类: 物理方法:指利用热蒸发或受到粒子轰击时物质表面原子的溅射等物理过程,实现物质原子从源物质到衬底材料表面的物质转移。包括物···
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