MATTSON/AG  RTP

一、设备服务内容

1. 机台常见问题处理；

        1) O2 sensor/MMC/Seq 等Kit parts保养 & 维修；

        2) Rotation TK target shift 等FDC问题处理；

2. 常见耗材与非耗材供应（例如：PM parts，wafer tray，etc.）；

3. 针对于隔膜阀气体泄漏，升级GLMS检测装置；

4. 针对于Sequencer系统文件，升级ABS自动备份系统；

5. Mattson RTP各主流机型整机翻新、搬迁、安装。

二、设备服务机型

1. Mattson Equipment

        1) Steag 2800/2900/3000

        2) Helios，Helios XP，Helios C200

        3) Atmos，Peitos

2. AG Equipment

        1) AG8800, AG8108, AG4100, AG2146, etc.