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MATTSON/AG RTP
一、设备服务内容
机台常见问题处理；
O2 sensor/MMC/Seq 等Kit parts保养维修；
Rotation TK target shift 等FDC问题处理；
常见耗材与非耗材供应；
针对于隔膜阀气体泄漏，升级GLMS检测装置；
针对于Sequencer系统文件，升级ABS自动备份系统；
Mattson RTP各机型整机翻新、搬迁、安装。
二、设备服务机型
Mattson Equipment
Steag 2800/2900/3000
Helios，Helios XP，Helios C200
Atmos，Peitos
AG Equipment
AG8800, AG8108, AG4100, AG2146, etc.
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